鑫力工业股份有限公司

特点:

全功能整合式LCD TOUCH PANEL控制系统(WITH PLC CONTROL)
到达真空度:低于1 Torr，温度:MAX.200℃
智慧型程式输入功能，可供user依不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。
程式自动监测并检知设定运转状态,完善的连环式保安设施,绝无安全顾虑
HMDS密闭式自动吸取添加设计。
10组程式记忆及自我诊断,故障显示及排除指示功能
单独烤箱密闭性测试功能，确保HMDS无外漏顾虑。
可容纳4寸晶圆8组CASSETTES

规格:

型号	内尺寸(直径×深度)(Cm)	外尺寸(W×D×H) (Cm)
VO-30-HMDS	30×30	W81×D48×H77

注: 1.可接受尺寸变更订制
2.阿摩尼亚机种规格相同

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